氮化硅陶瓷制品的生产方法有两种,即反应烧结法和热压烧结法。反应烧结法是将硅粉或硅粉与氮化硅粉的混合料按一般陶瓷制品生产方法成型。然后在氮化炉内,在1150~1200℃预氮化,获得一定强度后,可在机床上进行机械加工,接着在1350~1450℃进一步氮化18~36h,废旧耐火砖大量回收,直到全部变为氮化硅为止。这样制得的产品尺寸,体积稳定。热压烧结法则是将氮化硅粉与少量添加剂(如mgo、al2o3、mgf2、alf3或fe2o3等),在19.6mpa以上的压力和1600~1700℃条件下压热成型烧结。通常热压烧结法制得的产品比反应烧结制得的产品密度gao,性能好。
我国自80年代中期开始研究氮化硅技术。主要是研究减重效率的结构氮化硅材料-多孔氮化硅材料,废旧耐火砖,关于氮化硅复合材料的研究---起步,多孔氮化硅复合材料材料组成体系的理论设计与试验设计相关研究很少,尚处于摸索阶段,受---相关研究资料较少的影响,这方面我国的研究一直处于相对落后---,许多研究单位以及学者多把---放在领域,而其它领域的应用研究基本尚处空白。这方面的研究有待进一步加强。多孔氮化硅陶瓷介电常数预测及其性能影响规律认识不够完全,其理论工作与试验工作的研究都很少。
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