硅粉的粒度越细,氮化硅大量回收,比表面积越大,则可降成温度。粒度较细的硅粉与粒度较粗的硅粉相比,氮化硅常期回收,制品中含α- si3n4的量。降低硅粉的粒径,可以降---品的显微气孔尺寸。适当的粒度配比,可以提高制品密度。
温度对氮化速率影响很大。在970~1000℃氮化反应开始,在1250℃左右反应速率加快。在高温阶段,由于是放热反应,若温度很快超过硅的熔点(1420℃),则易出现流硅,---的将使硅粉坯体熔融坍塌。
氮化硅陶瓷制品的生产方法有两种,陕西氮化硅,即反应烧结法和热压烧结法。反应烧结法是将硅粉或硅粉与氮化硅粉的混合料按一般陶瓷制品生产方法成型。然后在氮化炉内,在1150~1200℃预氮化,获得一定强度后,可在机床上进行机械加工,接着在1350~1450℃进一步氮化18~36h,直到全部变为氮化硅为止。这样制得的产品尺寸,体积稳定。热压烧结法则是将氮化硅粉与少量添加剂(如mgo、al2o3、mgf2、alf3或fe2o3等),在19.6mpa以上的压力和1600~1700℃条件下压热成型烧结。通常热压烧结法制得的产品比反应烧结制得的产品密度gao,性能好。
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